触摸屏用低方阻PET触屏抗菌薄膜工艺研究

2022-10-20 56

触摸屏加工需要使用的导电薄膜材料主要以ITO导电玻璃和ITO导电薄膜为主,随着触控终端的轻薄化,PET导电膜的应用越来越广,目前常规导电膜材料在应用于中大尺寸触摸屏产品时,会产生延迟及触摸不灵敏的情况。从镀膜工艺角度出发,研究在PET上进行低方阻ITO溅射,测试结果表明,低阻ITO薄膜性能稳定可靠,工艺量产可行,产品性能可以满足市场需求。
通过自主研发,在ROLLTOROLL卷绕镀膜设备上进行低方阻ITO溅射,
实验:首先使用TFC光学模拟软件对所需膜层进行理论模拟,预估各膜层厚度,然后测定各层膜溅射速率,镀膜时根据实测结果对膜层进行修正,终制得满足需要的低方阻电容膜产品。
实验前需预先测定各层膜物质的溅射速率,实验设定固定功率,调整镀膜走速,获取较厚的膜层,利用台阶仪进行膜层厚度测定。根据实验测定,得出AKTXL-1400卷绕镀膜设备各膜层溅射速率,见表1。当镀膜速度为3m/min时,根据膜层溅射速率,计算溅射所需功率依次为17.9kW、50.98kW、20.5kW,为此,合理分配靶位,将设备1#靶位用于Si3N4溅射,2#~4#靶位用于SiO2溅射,5#~6#靶位用于ITO溅射,

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